Ayaş ilçesi, günümüzde ilçe merkezi konumunda olan ve ne zaman ve kimler tarafından kurulduğu bilinmeyen bir yerleşim yeridir.
Bazı tarihçi ve araştırmacılar, İstanbul-Ankara yolu üzerinde bulunan eski piskoposluk merkezlerinden Mnizos'u bugünkü Ayaş ilçesinde aramışlardır. Bu görüşü savunan Teurrefort, Kiepert ve Perrot gibi araştırmacılar, Ayaş ilçesinde kullanılan eski büyük taşlar gibi kanıtlar sunarak, Ayaş'ın tarihi Mnizos kenti olduğunu iddia etmişlerdir. Tarihçilere göre, Mnizos'un Bizanslılar döneminde hem şifalı su kaynaklarına sahip olan hem de korunması daha kolay olan Karakaya mevkiine doğru yayıldığı sanılmaktadır. Ayaş'a gelen Türklerin Oğuz boylarına ait olduğu kesindir.
Ayaş ilçesine bağlı olan Bayat, Afşar, Peçenek, Karkın gibi köyler, tarihin bir döneminde ana yurttan ayrılarak buraya yerleşen Oğuz boylarından almıştır. İlçenin adının ise Türkler tarafından verildiği bilinmektedir. Ayaş kelimesi günümüzde Toroslar bölgesinde yaşayan Türkmen oymaklarından birinin adı olarak kullanılmaktadır. Oğuz Türkleri, başlangıçta ilçenin Karakaya kesimine yerleşmişlerdir. Daha sonra ise Ayaş çayına doğru ilerleyerek, bu çevrede Kırkevler, Karakaya Kaplıcası, Killik, Bünyamin ve Eski Camii gibi eski eserleri yapmışlardır.
İlçenin merkezinde yer alan Karakaya Kaplıcası ile 23 kilometre batısındaki Ayaş İçmeleri, mineralli ve radyoaktif suları ile önemli bir sağlık merkezi ve zenginlik kaynağıdır. İçme suları, mide, karaciğer ve bağırsak tembelliklerini giderir, safra kesesi, böbrek taş ve kumlarını döker, bağırsakları solucanlardan temizler. Karadere, Ova, Arıklar ve Kirazdibi bağları ile Ayaş içme ve kaplıcaları, ilçenin tabiat varlıklarını oluştururlar. Her yıl temmuz ayının ilk haftası "Dut Festivali" de ilçede düzenlenmektedir.
